GXW系列-卧式光学镀膜机|卧式光学真空镀膜机 技术特点： ■ 配置有扇形多片夹具或拱形单工件盘，可镀制层数较多的短波通、长波通、减反射膜、滤光片等 ■ 利用人机界面触摸屏+PLC与全自动晶振膜厚仪构成全自动控制系统 ■ 采用美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制真空及电子束自动蒸发系统 ■ 采用新一代大容量e型电子枪，适合稳定镀制从数层到多达数十层的膜层（带嵌入式电子束扫描单元、坩埚定位单元可移动枪体机械单元等模块） ■ 采用先进的大功率可摆式霍尔离子源（采用自动切换功能的双灯丝阴极或空心阴极） ■ 采用专门研发的多功能工件传动方式（公转或行星式旋转架） ■ 采用高速真空机组＋深冷系统或分子泵（保证高效率及高稳定性的真空特性） 光学镀膜设备主要技术指标： 设备型号 GX-900A GX-1100A GX-1200A GX-1350A GXW-1600A 尺寸 900×1050 1100×1200 1200×1450 1350×1500 1600X1000 制膜种类 光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等 工件夹具 拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转（卧式） 加热系统 发热管上加热方式，PID控制，至高温度350度 真空室结构 立式前开门、卧式前开门（304不绣钢）、后置真空系统 真空系统 滑阀泵（旋片泵）＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统） 工作气体系统 质量流量控制仪＋电磁阀 电子枪 电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚，高压4KV-8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位 电阻蒸发源 2组电阻蒸发源 离子源 功率2KW，阳极电流极大6A。双灯丝（自动切换）提高附着力、膜层密度、稳定折射率。（霍尔源） 晶振膜厚仪 由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制 极限真空 8×10－4pa（空载、净室） 抽气时间 空载大气抽至5×10－2pa小于6分钟 工件旋转方式 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 控制方式 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC 备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 卧式光学镀膜机可应用于：光学镜头、电子产品、亚克力、玻璃、灯具、手机视窗、眼镜、潜水镜、望远镜、显微镜、舞台灯光、照明灯罩、三星手机壳等，可镀制增透明膜、滤光片、幻彩、红五彩、红、黄、绿、蓝等七彩颜色。