全自动光学镀膜设备配置有扇形多片夹具或拱形单工件盘，利用人机界面触摸屏+PLC与全自动晶振膜厚仪构成全自动控制系统，可以实现参数录入、过程监控及数据存储等功能，可设定工艺流程并自动执行，使镀膜膜层重复性、光学性能稳定性有质的提高，解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色、光学性能不一致等问题。 光学镀膜设备可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系，能够实现0-99层膜的膜系镀膜，也能满足如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求。配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系，对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀，并可在玻璃表面超硬镀膜。 全自动光学镀膜设备主要技术指标： 设备型号 GX-900A GX-1100A GX-1200A GX-1350A GXW-1600A 尺寸 900×1050 1100×1200 1200×1450 1350×1500 1600X1000 制膜种类 光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等 工件夹具 拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转（卧式） 加热系统 发热管上加热方式，PID控制，至高温度350度 结构 立式前开门、卧式前开门（304不绣钢）、后置真空系统 真空系统 滑阀泵（旋片泵）＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统) 气体系统 质量流量控制仪＋电磁阀 电子枪 电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚，高压4KV-8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位 电阻蒸发源 2组电阻蒸发源 离子源 功率2KW，阳极电流极大6A。双灯丝（自动切换）提高附着力、膜层密度、稳定折射率。（霍尔源） 晶振膜厚仪 由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制 极限真空 8×10－4pa（空载、净室） 抽气时间 空载大气抽至5×10－2pa小于6分钟 工件旋转 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 控制方式 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC 备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 全自动光学镀膜设备可应用于如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯、舞台灯光、电子产品、手机视窗、手机面板壳等产品的镀膜。