分光器
分光器是一种无源器件,又称光分路器，它们不需要外部能量，只要有输入光即可。分光器由入射和出射狭缝、反射镜和色散元件组成，其作用是将所需要的共振吸收线分离出来。分光器的关键部件是色散元件，现在商品仪器都是使用光栅。
分类
光线进入分光器后，把普通光线按波长可分为以下三种类：[1] 
近紫外线（near UV）　：　200-380nm
真空紫外线(vacuumUV〈VUV〉　：　10-200nm
极紫外线、极端紫外线(Extreme UV〈EUV〉）：1-10nm
※从人类健康和环保角度，还可分为UVA（315～400nm)、UVB（280～315nm)、UVC（280nm以下）。