① AU-M3-LS采用SQL-RV- 微型压降直线微电机系统。该动力系统主要包括目前世界上小的压电SQL-RV- 压降直线微电机( x x 6 mm)和业界内小的压电马达NSD-2101驱动IC( x mm)。集成到定制模块上可以提供之前难以想象的运动性能。该直线微电机马达拥有较小的体积但可以提供更大的功率和稳定性。分辨率为 ,精度是电磁马达的十倍。该马达没有齿轮和凸轮,直接提供直线移动的动力,并采用自锁设计,只有移动的时候才会耗电。因此比同等电磁马达的功耗降低40%。NSD-2101驱动是把输入的直流电转换为高频交流电来控制马达。并且可以通过I2C串行接口接受来自系统的指令。
② AU-M3-LS超小型线性微动台为闭环的运动系统。采用NSE-5310位置传感器,分辨率可达到 。该传感器芯片上集成数字编码器的磁传感器阵列,将磁性正弦波转换为数字直接输出。芯片上编码使用标准I2C协议提供直接数字输出,无需外部脉冲计数器。好的控制系统通信在单个I2C总线上多允许两个位置传感器。另外该传感器对外部环境不敏感,可适用于光照、冲击、振动等极端条件。
③ AU-M3-LS超紧凑型线性微动台不需要外部控制器。该模块将PID控制器集成到电路板上,只需要通过标准的I2C 或者SPI接口输入简单的串行命令就可以驱动该控制器。可以通过USB连接电脑,直接通过软件控制该微动台的运动。操作简单使用方便。