有机废气进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，产生裂变分解反应；如此协同高效地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。