本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。

·气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部。

当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。高纯气体管道的设计应符合下列要求a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于φ6×1mmb. 管道系统应尽量短；不应出现不易吹除的盲管、死角管道系统应设必要的吹除口和测试取样口气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。 可燃气体和氧气管道的末端或高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》 安全技术措施的有关要求

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