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锗抛光液有什么的化学性质概念?三邦化工您知道吗?
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产品介绍
锗抛光液有什么的化学性质概念?三邦化工您知道吗?锗抛光液CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是目前 的可以在整个硅圆晶片上全面平坦化的工艺技术。
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