SEC-310
,
,,
气体接触部材质
,SUS-316、氟化橡胶
,
阀门类型
,NO:,非通电时：开,,NC:,非通电时：关闭
,
标准流量量程
,5/10/20/50/100/200/500,SCCM
,
流量控制范围
,2?100％, (满量程)
,
流量精度
,± ％, (满量程)
,
SEC-320
,
,,
气体接触部材质
,SUS-316、氟化橡胶
,
阀门类型
,NO:,非通电时：开
,
标准流量量程
,5/10/20/50/100/200/500,SCCM
,
流量控制范围
,2?100％, (满量程)
,
流量精度
,± ％, (满量程)
,
SEC-405
,
,,
气体接触部材质
,SUS-316、氟化橡胶
,
阀门类型
,NO:,非通电时：开
,
标准流量量程
,10/20/50/100/200/500,SCCM,1/2/3/5,SLM,：
,
流量控制范围
,2?100％, (满量程)
,
流量精度
,± ％, (满量程)
,
SEC-410
,
,,
气体接触部材质
,SUS-316、氟化橡胶
,
阀门类型
,NO:,非通电时：开,,NC:,非通电时：关闭
,
标准流量量程
,10/20/50/100/200/500,SCCM,1/2/3/5,SLM
,
流量控制范围
,5?100％, (满量程)
,
流量精度
,± ％, (满量程)
,
SEC-510
,
,,
气体接触部材质
,SUS-316、氟化橡胶
,
阀门类型
,NO:,非通电时：开,,NC:,非通电时：关闭
,
标准流量量程
,10/20,SLM
,
流量控制范围
,5?100％, (满量程)
,
流量精度
,± ％, (满量程)
,
无锡市三环仪器有限公司
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