模拟金属密封,
流量范围:10,sccm-5,slm,
精度:≤±1%,FS,,
进气压力:140,psi(981,kPa)
美国Aera,FC-7700系列质量流量计

优点：
高性价比
响应速度快：小于2秒
无与伦比的可靠性：使用一年以上,零点漂移小于满量程的 %
易于集成：标准接头和尺寸
出众的效果：高品质膜层与蚀刻特性
,
特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许 清洗流量：高达 校准值的100倍
漏率1×10-6,atm-cc/秒(氦)

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