SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器,
高性能高端数字式质量流量控制器
Digital,Mass,Flow,Controllers
主要特性
1),多种气体及多种流量范围,,可以自由地指定气体类型及更改满量程流量,,现场设定,
2),超高精度：± %, ,(25-100%, ),,± %, ,(≤25%, ),
3),快速响应：＜,1秒,(全量程范围内,任意设置点),
4),非常方便的现场设置操作,
5),多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以 限度地减少库存,
6),与现有模拟式质量流量控制器完全兼容,
7),模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行,

气体接触部件材料：SUS,316L不锈钢(1sccm,~,50slpm, ,类型),,SUS,316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不锈钢(100,~,200slpm, ,类型)

满量程流量
SEC-Z512KX:,1/2sccm
SEC-Z512X:,10sccm,~,10slpm
SEC-Z522X:,22slpm,~,50slpm
SEC-Z532KVX:,100slpm
SEC-Z542KVX:,200slpm

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