Duke,杜克SURF-CAL, -3um,
产品描述：,Duke,杜克标准粒子,微粒,SURF-CAL用于半导体晶片扫描, -3um

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仪器介绍

用于半导体工业的SURF-CALTM,微粒产品,作为粒子表面附着标准,为标定专门检测裸露半导体硅晶片表面的扫描检测系统（SSIS）提供了经济、有效、和可靠的方法,粒子粒径纵贯 到 微米。该产品是NIST可溯源检测的聚苯乙烯悬浮微粒,微粒的浓度最优化到可以雾化沉积到晶片的表面。,
当采用传统的粒子表面附着系统时,浓度为每毫升3×108个粒子的SURF-CALTM悬浮液产品可在30－60秒中将每平方厘米6到10个粒子附着到200mm的晶片表面上。,浓度为每毫升1×1010个粒子的SURF-CALTM悬浮液产品则最适于应用于采用粒子排除技术的附着系统,使用这种方法时的附着时间和浓度是变化的。,
悬浮液的洁净程度非常高,从而将杂物残留在粒子或晶片表面的可能性减少到了 程度,便于扫描仪在整个操作过程中的标定。由于产品含有极低的不挥发固体含量,,SURF-CAL也用于其它气态分散粒子的测量。洁净的悬浮液也有助于在图案晶片、蚀刻蒙片和刻度板以及磁盘驱动方面的粒子检测。,,
产品特征,,
NIST可溯源标准,,
?,协助半导体单晶片生产厂（Fab),和Fab供应商之间的检测相容性,
粒径模式（峰）,,
?,与使用表面扫描仪相匹配的测量技术,
可以在不同沉积方法上使用的浓度,,,,
?,消除悬浊液稀释的误差和试验,,
?,每小时更多的晶片,,
?,快速晶片沉积,
适合常年使用,,
?,不需要更换仪器标定,,
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优质的程序控制,
超低不挥发残余物,,
?,低平干净的背景和基准线,,
?,洁净悬浮液适用于气态,,
?,不需要沉积系统的粒子的进一步分离,,
使用期限,,
?,保证样品稳定和结果可再现性,
洁净包装,,
?,外包装以内的洁净包装,,
?,便于在洁净区域易打开和使用的包装。,
Duke科学公司的经验,,
?,最准确的粒径表征,,
?,产品可信赖,,
?,30年的粒子科学技术,,
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专业技术服务,

所有的产品都悬浮于50mL包装瓶的过滤后的去离子水中,粒子浓度为每毫升3×108个粒子。产品PD1100A或粒径更小的产品的浓度是每毫升1×1010个粒子,可用于需要移动差分型分析仪（DMA）或其它使用粒子排除原理的粒径分析仪。每个产品包装包括一个标准认定证书,NIST可溯源证明以及原材料安全系数表,”B”瓶的包装用于定购,请提前3-7个工作日。,,
测量方法学：为了保证NIST的直接可溯源检测,具有标定认证粒径的产品要经过NIST标准参照材