产品名称: 四氟化碳 其他名称: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride 分子式: CF4 UN No. UN1956 CAS No. 75-73-0 产品纯度:99.99~99.999%  包装说明:47L DOT钢瓶，钢瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材质阀门，阀门型号CGA660；40L高压无缝钢瓶，净重30kg/瓶，瓶头阀是铜质阀门是QF-2，出口螺纹是G5/8 产品说明 四氟化碳在常温常压下是无色无臭有轻微醚味，较易挥发的不燃烧的压缩气体，是化学性质非常稳定的有机物。充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在硅和二氧化硅体系中，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性。在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。