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本征区熔高阻硅片的物质是一种可溶性固体，其分子结构与普通聚酯相似。本征区熔高阻硅片的化合物的主要特点是具有较强的阻隔性和吸附性能。在本征区熔高阻硅片中，将其清洗剂与其它清洗剂混合使用时，其活性物质会发生变化。本征区熔高阻硅片在其清洗剂中活性物质可以吸附于硅片表面，采用的清洁剂是一种特殊的清洁剂，它不仅可以降低生产成本，还能够有效地减少生产过程中对环境造成的污染。本征区熔高阻硅片在其清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗的物理吸附状态，并在表面成 保护层，防止颗粒的二次吸附，能有效提高外延或扩散工序的成品率。