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供应氧化铝陶瓷零件-力荐砾石实业物超所值的氧化铝陶瓷零件

供应商:东莞市砾石实业投资有限公司【公司商铺】

所在地:广东省东莞市

联系人:曹先生

价格:面议

品牌:砾石,,,,

发布时间:2024-01-12

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【产品详情】供应氧化铝陶瓷零件-力荐砾石实业物超所值的氧化铝陶瓷零件

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东莞市砾石实业投资有限公司是一家整合氧化铝陶瓷零件设计、生产、销售、售后于一体的可靠公司,砾石实业致力于向工业陶瓷使用人群提供包含好的应用方案设计,好的绝缘材料产品,经过多年的开拓和发展,供应的氧化铝陶瓷零件受到全国的广大用户的一致好评。公司产品齐全,价格合理,质量过关,是诸多消费者的理想选择。

砾石实业作为一家以销售为主营方向的企业,可靠供应性价比好、经济实惠的有品质氧化铝陶瓷零件,该款产品以其具有魅力的产品特色,很大的迎合了众多用户的需求,深受工业陶瓷使用人群的青睐和好评,树立了良好的口碑。

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靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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