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工业纯水显著的特点是极高的纯度，几乎不含各类杂质。通过复杂且精细的预处理、脱盐处理和后处理工序，能有效去除原水中的悬浮物、胶体、有机物、微生物以及各种阴阳离子 。在电子工业用于芯片制造时，超纯水的电阻率可达到 18.2MΩ・cm（25℃），几乎接近理论上纯水的电阻值，水中颗粒物质、微生物等杂质含量比较少，每升水中粒径大于 0.1μm 的颗粒不超过 1 个，微生物含量近乎为零，这种纯度能保障芯片制造过程的精密性，避免因杂质导致的电路缺陷。

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