在活性污泥处理系统中应用纯氧曝气，不只是替代常规的空气曝气器装置，更重要的是由于纯氧的应用可导致活性污泥工艺中许多重要技术参数发生显著的改变，从而形成一种活性污泥工艺的变形，即纯氧活性污泥工艺。 由于纯氧的压力高于空气中氧的分压，纯氧曝气器可显著提高氧的转移速率。微孔曝气头和纯氧曝气器的有点结合起来，采用微孔曝气软管曝气垫，在水深5m 处的氧利用率高达80%。该工艺应用于敞开曝气池，可显著提高污泥浓度和改善污泥沉降性能，故特别适用于现有活性污泥处理厂的脱氮升级改造。 纯氧曝气器的缺点主要是纯氧曝气器容易出现故障，运行管理比较麻烦