应用于半导体,微电子,光电子,表面科学,新材料,新能源领域的真空应用设备的研究,开发,设计,制造,改造,修理与维护：,磁控溅射,分子束外延（MBE）,各种化学气相沉积（如LPCVD,PECVD,MOCVD,超高温CVD等）热蒸发,电子束,离子束,多弧,离子刻蚀,离子剪薄,各种真空炉（热处理,熔炼,单...