沈阳奇光真空技术研究所
主营产品:实验设备,,太阳能设备,,真空设备,,磁控设备,,热蒸发设备,,CVD设备,,焊接波纹管,,退火炉,,单晶炉,
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沈阳奇光真空技术研究所
应用于半导体,微电子,光电子,表面科学,新材料,新能源领域的真空应用设备的研究,开发,设计,制造,改造,修理与维护:,磁控溅射,分子束外延(MBE),各种化学气相沉积(如LPCVD,PECVD,MOCVD,超高温CVD等)热蒸发,电子束,离子束,多弧,离子刻蚀,离子剪薄,各种真空炉(热处理,熔炼,单晶,扩散,氧化,退火等),真空设备常用零部件的设计制造:,各种高真空与超高真空角阀,各种高真空插板阀,管道与法兰,玻璃金属封接观察窗,陶瓷金属封接电极,氟胶密封圈,无氧铜垫,磁控溅射靶,分子束源炉,样品架,磁力偶合传动系统,真空专用电源(直流恒流电源,中频电源,射频电源),真空专用控制系统及软件的研究开发与设计制造,超高真空与洁净真空技术,真空薄膜工艺技术的研究开发与咨询